近日，昊華氣體有限公司西南電子特種氣體建設項目征求意見稿公示。

項目名稱：西南電子特種氣體建設項目

建設單位：昊華氣體有限公司

建設性質：新建

建設地點：自貢市沿灘區(qū)沿灘工業(yè)園區(qū)化工新材料產業(yè)園內

建設內容：建設總規(guī)模為6000噸/年電子級三氟化氮氣體生產線（分二期進行實施，其中一期規(guī)模為4000噸/年、二期規(guī)模為2000噸/年、4000噸/年光電子級高純氨生產線和液體空分裝置（生產液氮100000噸/年）生產線。

項目投資：148326萬元

需要說明的是，原項目一次公示名稱為“昊華氣體（自貢）有限公司西南電子特種氣體建設項目”，現對項目名稱進行了調整，調整為“昊華氣體有限公司西南電子特種氣體建設項目”。

三氟化氮是一種工業(yè)特種氣體，主要用作推進劑（火箭）、氟化劑、電子氣、等離子蝕刻及用于摻雜、激光、光導纖維等，是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、半導體發(fā)光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基礎性支撐原材料。

三氟化氮的反應性與氟相似，具有在等離子條件下釋放氟（F）的能力，是一種熱力學穩(wěn)定的氧化劑。350℃條件下其反應活性相當于氧（O），可作為游離基的供給源，比氟氣穩(wěn)定且易于處理。基于以上性質，三氟化氮在等離子蝕刻工藝中既可作為淀積等離子體增強化學沉積氮化硅源氣體，又可在蝕刻氮化硅時作為腐蝕氣體，其應用在化學氣相沉積室的清洗中，可使生產率提高，排放物大幅減少，具有操作簡便、清潔綠色等優(yōu)點，特別是在當前國家大力推進微電子產品以國產化替代進口的大環(huán)境下，三氟化氮市場需求潛力十分巨大，社會效益十分顯著。

基于以上三氟化氮特種氣體的良好性能和廣闊市場前景，昊化氣體有限公司為進一步在特種氣體領域發(fā)展壯大，擬在自貢市沿灘工業(yè)園區(qū)內建設“西南電子特種氣體建設項目”。

昊化氣體有限公司是中國中化控股有限責任公司所屬科技板塊公司-昊華化工科技集團股份有限公司整合旗下黎明院、光明院、西南院三家轉制科研院所氣體業(yè)務的科技、資產、人員等資源組件而成，注冊地址河南洛陽，是一家專業(yè)以電子氣體為主的電子化工材料研發(fā)、生產、服務和銷售為一體的企業(yè)。

來源：沿灘區(qū)人民政府、氟化工